特許
J-GLOBAL ID：200903014512921635
静電サーボ式物理量検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-004887
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201850
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 高感度のサーボ制御を可能とする静電サーボ式物理量検出装置を提供する。【解決手段】 ハイレベル(Hi)とローレベル(Lo)の期間が異なる搬送波信号P1、P2を固定電極3、4にそれぞれ印加する。搬送波信号P1、P2がHiとLoの間で変化する第1の期間では、スイッチS2を閉じ、スイッチS3を開にする。このとき、C-V変換回路21は、可動電極2dと固定電極3、4からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を出力する。第1の期間に続く第2の期間(搬送波信号P1、P2におけるHiとLoの差の期間)では、スイッチS2を開き、スイッチS3を閉じて、C-V変換回路21の出力電圧を信号処理する信号処理回路22からフィードバック電圧を出力させ、それを可動電極2dに印加して、可動電極2dが所定の位置になるようにサーボ制御を行う。
請求項（抜粋）：
物理量の変化に応じて変位する可動電極(2d)と、前記可動電極(2d)に対向して配置された第1、第2の固定電極(3、4)と、前記可動電極(2d)と前記第1、第2の固定電極(3、4)からなる差動容量の容量変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(21)と、前記C-V変換回路(21)の出力に基づき前記可動電極(2d)を前記可動電極(2d)が前記物理量の変化によって変位した方向と逆方向に変位させるためのフィードバック電圧を出力する信号処理回路(22)と、電圧レベルが変化する第1の期間とこの第1の期間に続く所定電圧レベルの第2の期間を有する第1の搬送波信号を前記第1の固定電極(3)に印加し、前記第1の搬送波信号に対し電圧レベルが反転した第2の搬送波信号を前記第2の固定電極(4)に印加する搬送波信号発生手段(23)とを備え、前記第1の期間において前記C-V変換回路(21)から前記容量変化に応じた電圧が出力され、前記第2の期間において前記信号処理回路(22)から出力されるフィードバック電圧が前記可動電極(2d)に印加されるようにしたことを特徴とする静電サーボ式物理量検出装置。
IPC (3件)：
G01L 13/06
, G01D 5/24
, G01P 15/125
G01L 13/06 C
, G01P 15/125
, G01D 5/24 B
