特許

J-GLOBAL ID：200903014516358455

熱分析用素子及びその製造方法

発明者： 鈴木 美彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-182051
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026594
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 極微量の試料の熱分析を良好に行える熱分析用素子を得る。【解決手段】 所定の肉厚の枠状基板2上に薄膜3が被着され、薄膜3の中央部の底部が空洞の薄膜メンブレン部3Aに試料を収容保持するための試料セル4A,4Bが形成されている。薄膜メンブレン部3A上には、試料セル4A,4B内の試料を加熱するための薄膜ヒータ6と、試料の吸発熱に伴う温度変化を検知するための薄膜熱電対TCA,TCBとが形成されている。薄膜3の中央部の薄膜メンブレン部3Aの熱容量が周辺の領域に比べて極端に小さくなっている。このため、試料セル4A,4B内に極微量の試料しか存在しない場合でも、薄膜メンブレン部3Aの温度が試料の吸発熱に伴って感度良く変化し、試料の吸発熱反応を正確に検出できる。

請求項（抜粋）：

試料を加熱又は冷却しながら該試料の温度を検出するための熱分析用素子であって、所定の支持体に周囲を拘束された状態で支持されると共に、表面上に前記試料が保持される保持部を有する薄膜体と、該薄膜体の表面に沿って形成され、該薄膜体上に保持される試料を加熱又は冷却するための温度制御体と、前記試料の温度変化を感知するための感熱体と、を備えたことを特徴とする熱分析用素子。

IPC (4件)：

G01N 25/20 ,  G01K 17/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

G01N 25/20 A ,  G01K 17/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 A