特許

J-GLOBAL ID：200903014516932194

超音波顕微鏡

発明者： 竹田 栄 ,  早川 泰夫
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300740
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 臨界角を可変にして測定可能とすることで漏洩弾性表面波、疑似縦波等の任意の波を分離して測定する。【構成】 複数の超音波振動子がアレイ状に列設されたアレイ式超音波探触子20と、試料30に弾性表面波等の所定の波が励起されるようにアレイ式超音波探触子20を励振して所定の波に対応する臨界角θをもって試料30の表面に超音波送信ビームを入射させる送信制御回路TCと、試料30表面から出射する所定の波を同じ臨界角θをもった超音波受信ビームとして受信する受信制御回路RCとを設けた。

請求項（抜粋）：

複数の超音波振動子がアレイ状に列設されたアレイ式超音波探触子と、試料に弾性表面波等の所定の波が励起されるように前記アレイ式超音波探触子を励振して前記所定の波に対応する臨界角をもって前記試料表面に超音波送信ビームを入射させる超音波ビーム送信手段と、前記試料表面から出射する前記所定の波を前記臨界角をもった超音波受信ビームとして受信する超音波ビーム受信手段とを備えたことを特徴とする超音波顕微鏡。