特許

J-GLOBAL ID：200903014519140264

位置検出装置及びそれに用いる位置検出用物体

発明者： 村上 栄一 ,  稲 秀樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114155
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283428
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 検出光学系の調整状態に鈍感で工程毎のオフセットの少ないアライメントを達成することができる位置検出装置を得ること。【解決手段】 予め形成されたマ-クを検出して、該マ-クの位置を検出する装置において、マ-クの検出波長をλ、マ-クの存在する媒体の屈折率をNとした時、前記マ-ク段差dをNd=(λ/4 )m (m=1,2,...)を満たす値近傍とすることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

物体上に形成されたマ-クを照明系からの光束で照明し、該マークの位置を検出光学系を利用して検出する位置検出装置において、該照明系からの光束の波長をλ、該マ-クの存在する媒体の屈折率をNとした時、該マ-クの段差dが0.8×(λ/4)・m<N×d<1.2×(λ/4 )m(m=1,2,...)を満たすことを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 522 D ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 507 L ,  H01L 21/30 507 N