特許

J-GLOBAL ID：200903014519312979

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 渡辺 善作
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 竹村 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026130
公開番号（公開出願番号）：特開平7-222068
出願日： 1994年01月29日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 放射線量及び放射線を発するウラニウム含有量が少ない無反射膜を有する透光性キャップを備える。【構成】 外囲器2は、開口部7を密封する透光性板5と、外囲器内に面した透光性板下面とこの下面とは反対側の上面に形成された無反射膜22、21とを備え、透光性板5及び無反射膜21、22は透光性キャップ20を構成している。この無反射膜は、少なくとも1層のTa2 O5 膜を有している。3層からなり、アルミナ層は、透光性板5の上に、酸化タンタル層は、アルミナ層の上に、また弗化マグネシウム層は、酸化タンタル層の上に形成されている。Ta2 O5 は、ウラニウムの含有量が少なく殆ど放射線の発生がなく、酸化タンタルを無反射膜の一部に用いた本装置は、信頼性の高い素子特性を得る。酸化タンタル層は、透光性キャップ取付け前のエージング処理により、460〜480nmの波長で光透過率がその近傍の波長に比べ急激に変化しないようになる。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子と、前記固体撮像素子を収納し、開口部を有する外囲器と、前記開口部を密封する透光性板と、前記外囲器内に面した前記透光性板下面又は前記下面とこの下面とは反対側の上面に形成された無反射膜とを備え、前記透光性板及び前記無反射膜は透光性キャップを構成し、この無反射膜は、放射線量及び放射線を発するウラニウム含有量が少なく、かつ、入射光の波長が460〜480nmの間の任意の波長において光透過率がその近傍の波長より急激に変化しない特性を有していることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H04N 5/335 ,  G02B 1/11 ,  H04N 1/19

FI (2件)：

G02B 1/10 A ,  H04N 1/04 102