特許

J-GLOBAL ID：200903014525945991

カラーフィルタ製造用感光性フィルム

発明者： 森 靖樹 ,  斉藤 学
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112545
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324210
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成されたカラーフィルタを製造できる感光性フィルムを提供する。【構成】 透明基板上に、ベースフィルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、一色に着色された感光性樹脂層が透明基板に面するように貼り合わせ、露光して所定のパターンを形成させ、ベースフィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフィルタの製造法に用いられるカラーフィルタ製造用感光性フィルムであって、ベースフィルムの膜厚を10〜15μm、その引っ張り弾性率(ヤング率)を10000kg/cm2以下としたカラーフィルタ製造用感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、ベースフィルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、一色に着色された感光性樹脂層が透明基板に面するように貼り合わせ、露光して所定のパターンを形成させ、ベースフィルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフィルタの製造法に用いられるカラーフィルタ製造用感光性フィルムであって、ベースフィルムの膜厚を10〜15μm、その引っ張り弾性率(ヤング率)を10000kg/cm2以下としたカラーフィルタ製造用感光性フィルム。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 27/30 101 ,  G03F 7/027