特許

J-GLOBAL ID：200903014526164390

バイパススロットを備えたプロセスチャンバーを有する試料処理装置

発明者： ロボル,バリー ダブリュ. ,  ベディンガム,ウィリアム
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  廣瀬 繁樹 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-566492
公開番号（公開出願番号）：特表2006-513421
出願日： 2003年11月19日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

バイパススロットを有するプロセスチャンバーを含む試料処理装置、およびその使用方法を開示する。バイパススロットは、プロセスチャンバーの側壁に形成され、そしてプロセスチャンバーに流体試料物質を送達するために使用される分配チャンネルと流体接続する。

請求項（抜粋）：

第1の長辺および該第1の長辺に対向する第2の長辺を含む本体と、 前記本体内に配置される複数のプロセスチャンバーであって、前記プロセスチャンバーの各々が、前記本体の前記第1の長辺と前記第2の長辺との間に延在する主空隙を含む、プロセスチャンバーと、 前記複数のプロセスチャンバーの各々に入る分配チャンネルであって、前記本体の前記第1の長辺に最も近いプロセスチャンバーに入る、分配チャネルと、 前記プロセスチャンバーの各々の側壁に形成され、前記本体の前記第1の長辺と前記第2の長辺との間に延在するバイパススロットであって、前記プロセスチャンバーの前記主空隙から遠位の位置で前記本体の前記第1の長辺に最も近い分配チャンネル内で開口する、パイパススロットと、 を含む、試料処理装置。

IPC (6件)：

G01N 35/00 ,  B01J 19/00 ,  G01N 37/00 ,  G01N 35/10 ,  G01N 35/08 ,  G01N 27/447

FI (7件)：

G01N35/00 D ,  B01J19/00 321 ,  G01N37/00 101 ,  G01N35/06 A ,  G01N35/08 A ,  G01N27/26 301C ,  G01N27/26 331E

Fターム (20件)：

2G058DA07 ,  2G058EA07 ,  2G058EA14 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA62 ,  4G075BA10 ,  4G075BD08 ,  4G075BD15 ,  4G075DA02 ,  4G075EA02 ,  4G075ED01 ,  4G075EE02 ,  4G075EE07 ,  4G075EE15 ,  4G075EE23 ,  4G075FA11 ,  4G075FB02 ,  4G075FB12 ,  4G075FC17