特許
J-GLOBAL ID:200903014528123526
圧力センサの金属製ダイヤフラム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石川 泰男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-164405
公開番号(公開出願番号):特開平5-013782
出願日: 1991年07月04日
公開日(公表日): 1993年01月22日
要約:
【要約】【目的】 圧力センサの金属製ダイヤフラムの構造を簡素にする。【構成】 金属製ダイヤフラムの本体6を、Cr+Mo20〜40%,Ni20〜50%,Co25〜45%を主成分とし、20%以上の冷間加工が施された後に400〜600°Cで熱処理された合金で形成する。該合金は耐腐食性に優れ、圧力を測定するべき腐食性の流体が受圧面8aに直に触れても腐食しない。また、機械特性に優れ、受圧面8aを成形しやすい。このため、圧力センサの感度が向上する。
請求項(抜粋):
受圧面と反対面上に絶縁膜を介して歪ゲージが形成された圧力センサの金属製ダイヤフラムにおいて、該金属製ダイヤフラムの本体が、Cr+Mo20〜40%,Ni20〜50%,Co25〜45%を主成分とし、20%以上の冷間加工が施された後に400〜600°Cで熱処理された合金で形成されていることを特徴とする圧力センサの金属製ダイヤフラム。
IPC (2件):
H01L 29/84
, G01L 9/04 101
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