特許

J-GLOBAL ID：200903014544959871

波長安定化制御方法及び光源装置、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法及びデバイス

発明者： 大槻 朋子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268045
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156388
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光の中心波長を所定の設定波長に確実に維持することができる光源装置を提供する。【解決手段】 メモリ内にビームモニタ機構164の検出基準波長の温度依存性のデータを含む温度依存性マップが記憶されている。そして、制御装置50では、吸収セル165の絶対波長に対してビームモニタ機構164の検出基準波長をほぼ一致させる絶対波長キャリブレーションを行うとともに、温度依存性マップに基づいて検出基準波長を設定波長に一致させる設定波長キャリブレーションを行う。このため、常に確実にビームモニタ機構の検出基準波長を設定波長に正確に設定することができ、これによりビームモニタ機構の雰囲気の温度等が変動しても、それに影響を受けることなく、ビームモニタ機構を用いてレーザ光源160Aの中心波長を所定の設定波長に確実に維持するような波長安定化制御が可能になる。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から発振されるレーザ光の中心波長を所定の設定波長に維持するための波長安定化制御方法であって、前記レーザ光の波長を検出する波長検出装置の検出基準波長の温度依存性を予め測定する第1工程と;前記設定波長に近い絶対波長を提供する絶対波長提供源から提供される絶対波長に対して前記波長検出装置の検出基準波長をほぼ一致させる絶対波長キャリブレーションを行う第2工程と;前記第1工程で求めた前記温度依存性に基づいて、前記波長検出装置の前記検出基準波長を前記設定波長に設定する第3工程とを含む波長安定化制御方法。

IPC (8件)：

H01S 5/0687 ,  G02B 5/28 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10

FI (8件)：

H01S 5/0687 ,  G02B 5/28 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01L 21/30 515 B