特許
J-GLOBAL ID：200903014549851602
インクジエツトヘツドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154594
公開番号（公開出願番号）：特開平5-004346
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 従来の電鋳法により製造されたノズル形成部材の2段目、即ち間隙形成部のパターニング跡としてできる空間に気泡が取り込まれ易く、除去しづらいため、この空間をなくし、気泡の停留しづらい構造が製造できる方法を提供することで、インク滴の気泡による飛翔特性の変動を起さず、印字品質の優れたインクジェットヘッドを製造可能とした。【構成】 1)ステンレスのマスター基板101にレジスト102を形成する。2)第1層1cのニッケルメッキを成長させる。3)レジスト102を除去し、フィルムレジスト104をラミネートする。4)第1層1cの上にさらに間隙形成部1bを形成する。5)フィルムレジスト104を剥離し、マスター101を遊離させ、オーバーハングのない断面をもつ、ノズル形成部材1を得る。
請求項（抜粋）：
複数のノズル開口部とこれに対応させた圧力発生器を有し、圧力発生器を動作させることで、ノズル開口部と圧力発生器の間に満たしたインクの圧力を高めノズル開口部から吐出させ、該ノズル開口部を有するノズル形成部材を2層以上の電鋳法で製造するインクジェットヘッドの製造方法において、少なくとも2層目以降のパターニングを電鋳層以上の厚みをもつレジストで行なうことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特表昭63-502015
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特開昭57-205166
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