特許

J-GLOBAL ID：200903014550945394

容量センサ-と容量測定方法

発明者： 八百 隆文 ,  富家 英登 ,  川見 浩
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282579
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101106
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 走査型静電容量顕微鏡などの容量センサーは、発振周波数が固定されていたために、容量変化の絶対値が分からない。被測定容量を含むタンク回路の共振周波数が、発振周波数から大きくずれている場合、容量変化による出力の変動が少なく、精度の高い測定ができなかった。容量変化の絶対値を求めることができ、常に高精度の容量測定が可能な容量センサーを与える事が目的である。【解決手段】 周波数可変の発振器を用いて、周波数を変化させて、共振曲線と共振周波数を求める。共振周波数のずれから容量変化の絶対値を知ることができる。また周波数を一時的に固定する場合でも、共振周波数に近い値に設定することができる。

請求項（抜粋）：

試料に探針を接近させて、試料と探針間に交流電圧を印加し試料と探針間の静電容量を測定する操作を、試料に対して探針を走査しながら繰り返す走査型静電容量顕微鏡の容量センサーであって、試料と探針間に与える交流電圧の周波数を一定範囲で変化させ、試料・探針間の容量を含む共振回路の共振曲線と共振周波数を求め、試料・探針間の静電容量の変化量ΔCを求めるようにしたことを特徴とする容量センサー。