特許
J-GLOBAL ID：200903014552782840
波面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079873
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275005
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【目的】 コーナキューブを用いて得られた干渉縞データに積分演算処理を施すことにより、光学部材から出力される光波の波面収差を、面倒な光軸調整を行うことなく、コンパクトな部材を用いて高精度に測定する。【構成】 コリメータレンズ10から出力された光源12からのレーザ光束16を基準板20に照射し、透過された光束を、この基準板20に略平行とされたプレート22上に位置するコーナキューブ24に照射し、このコーナキューブ24をプレート22上で移動させる度に、このコーナキューブ24からの反射光と基準板20からの反射光との干渉により生じる干渉縞データを得、この干渉縞データに基づき、コーナキューブ24に入射する光束のコーナキューブ24の各移動位置毎の入射角度θを求め、この求められた入射角度θに積分演算を施してコリメータレンズ10から出力された光波の波面形状を求める。
請求項（抜粋）：
被検体から出力された光源からの光束を基準板に照射し、この基準板から出力された光束を、この基準板に略平行とされた面上もしくはそれと等価な面上に位置するコーナキューブに照射し、このコーナキューブを前記面上で移動させる度に、このコーナキューブからの反射光と前記基準板からの反射光との干渉により生じる干渉縞データを得、この干渉縞データに基づき、該コーナキューブに入射する光束の該コーナキューブの各移動位置毎の入射角度情報を求め、この求められた入射角度情報に積分演算を施して前記被検体から出力された光波の波面形状を求めることを特徴とする波面形状測定方法。
Fターム (14件)：
2F064AA09
, 2F064BB03
, 2F064CC10
, 2F064DD04
, 2F064EE01
, 2F064EE04
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG44
, 2F064HH08
, 2F064HH09
, 2F064JJ01
