特許

J-GLOBAL ID：200903014553091345

対象物検査用光学装置

発明者： ソルモンド,コリン,ハーバート ,  グリーンシル,コリン,ビクター ,  ライト-ジヨンズ,ピーター
出願人/特許権者： エラン グループ リミテッド
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551246
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516994
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】本発明に係る対象物検査用光学装置は、近赤外放射線(NIR)を有し、光ビームを検査中の対象物に向ける光源と、対象物から反射するか、又は対象物を通過する光を受光し、そこから光ビームを発散させるアパーチャーと、アパーチャーを通過した光ビームが発散して入射するように配置され、発散して入射した光ビームを平行にするコリメート手段と、コリメート手段からの平行にされた光ビームを波長成分に発散する手段と、波長成分のエネルギーレベルに比例する電気出力信号を発生する手段とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

近赤外放射線(NIR)を有し、光ビームを検査中の対象物に向ける光源と、 対象物から反射するか、対象物内で散乱するか、又は対象物を通過する光を受光し、そこから光ビームを発散させるアパーチャーと、 アパーチャーを通過した光ビームが入射するように配置され、発散して入射した光ビームをコリメートする手段と、 コリメート手段からのコリメートされた光ビームを波長成分に発散する手段と、 波長成分のエネルギーレベルに比例する電気出力信号を発生する手段と を有することを特徴とする対象物検査用光学装置。

Fターム (22件)：

2G059AA01 ,  2G059BB11 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG00 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059MM03 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04