特許
J-GLOBAL ID：200903014564301252
非同軸型落射照明方式による投影検査機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-105949
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304926
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 反射ミラーによる照明方向を調節して被検物形状に最適の方向からの照明状態を実現しかつ照明ムラの発生を少なくして、鮮明な投影像を形成し、かつ高精度の測定を可能にすることのできる非同軸照明方式の投影検査機を提供すること。【構成】 照明用光源からの光を、照明光学系および該照明光学系の照明光軸の左右両側に斜設された第一反射ミラー及び第二反射ミラーを介して被検物を照射し、この被検物からの散乱光を投影光学系を介してスクリーンに投影することにより、被検物の像を観察する非同軸型落射照明方式による投影検査機において、前記第一反射ミラー及び第二反射ミラーの少なくとも一方が、反射面の方向が異なる複数の反射面からなることを特徴とする投影検査機。
請求項（抜粋）：
照明用光源からの光を、照明光学系および該照明光学系の照明光軸の左右両側に斜設された第一反射ミラー及び第二反射ミラーを介して被検物を照射し、この被検物からの散乱光を投影光学系を介してスクリーンに投影することにより、被検物の像を観察する非同軸型落射照明方式による投影検査機において、前記第一反射ミラー及び第二反射ミラーの少なくとも一方が、反射面の方向が異なる複数の反射面からなることを特徴とする投影検査機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03B 21/28
, G02B 26/08 E
