特許
J-GLOBAL ID:200903014577148240

半導体装置およびその製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-023731
公開番号(公開出願番号):特開平5-226387
出願日: 1992年02月10日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 リードフレームのダイパッド部に半導体チップをダイボンディングし、ワイヤボンディング後これらを樹脂で封入成形してなる半導体装置で、ダイボンディングの工数を削減すると共に、ダイボンディング時に熱ストレスなどが発生して半導体特性に悪影響を与えない半導体装置およびその製法を提供する。【構成】 リードフレームのダイパッド部8と半導体チップ4の接着を両面接着テープ2で行う。その製法としては、半導体ウエハの状態で両面接着テープ2を介してエキスパンドテープに貼付し、半導体ウエハのダイシング時に両面接着テープも同時に切断し、ダイボンディングの際半導体チップ4の裏面に両面接着テープ2が貼付された状態でダイパッド部8にボンディングする。
請求項(抜粋):
リードフレームのダイパッド部に半導体チップがダイボンディングされ、該半導体チップおよびその周囲のリードとの電気的接続部が樹脂で封入成形されてなる半導体装置であって、前記半導体チップのダイボンディングが両面接着テープでなされていることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/52 ,  H01L 21/78
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-102751
  • 特開平2-044751

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