特許
J-GLOBAL ID：200903014578461279
クリーンベンチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-245561
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103531
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】【目的】 作業空間を所要の温度とする。【構成】 クリーンベンチは、本体1内に作業台7を配置すると共に、この作業台上に作業空間4を形成している。作業台7は、裏面に直流電流の極性に応じて発熱または吸熱するサーモモジュール10を適宜個数所定の間隔で取付部材によって配設され、このサーモモジュール10はリード線を介して極性の異なる直流電流を供給する電源回路に接続されている。制御パネル16は温度設定に応じた温度とするように検出された温度に基づいてサーモモジュール10へ通電する直流電流の極性と大きさを制御して、作業台7の表面を冷却または加温して作業空間4内の作業台7付近の温度を所要の温度とする。
請求項（抜粋）：
本体内に作業台を配置すると共に、この作業台上に作業空間を形成するクリーンベンチにおいて、前記作業台を伝熱板を用いて構成すると共に、直流電流の極性に応じて発熱または吸熱を行うサーモモジュールを前記伝熱板の裏面に適宜配設し、前記作業空間を所要の温度とするように前記サーモモジュールに供給する前記直流電流を制御することを特徴とするクリーンベンチ。
IPC (4件)：
F24F 7/06
, B01D 46/42
, B25H 1/00
, F25B 21/02
