特許

J-GLOBAL ID：200903014580796148

エッチング深さ測定方法および測定装置

発明者： 桐山 修司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326907
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177219
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを割ることなくエッチング深さを容易に測定する。【構成】 エッチング部分及びその周辺の非エッチング部分に導電性レプリカ材料を流し込みレプリカ1を形成する。レプリカ1のエッチング方向の先端側に導電性液体6aの入った電極6を配置し、その先端側とは反対側に電極5を被着し、電極5にレプリカ1のエッチング方向への変位を検出する変位読み取り計7を連接する。レプリカ1を下方におろしていくと、エッチング部分に対応するレプリカ部分1aが液体6aに接触して電流値(抵抗値)が変化する。この状態でのレプリカ1の変位を読み取ってx1とする。さらに、レプリカ1を下方におろしていくと、被エッチング部分に対応するレプリカ部分1bが液体6aに接触して電流値(抵抗値)が変化する。この状態でのレプリカ1の変位を読み取ってx2とする。(x2-x1)でもってエッチング部分のエッチング深さを求める。

請求項（抜粋）：

被エッチング膜の少なくともエッチング部分に導電性または誘電性のレプリカ材料を流し込み、このレプリカ材料で形成されるレプリカを利用して上記エッチング部分のエッチング深さを測定することを特徴とするエッチング深さ測定方法。