特許
J-GLOBAL ID：200903014581690211
ガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-110766
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281177
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 ガス感応膜として金属酸化物半導体薄膜を用いたガスセンサであって、吸着水分量をモニターし、初期値を補正することが容易なものを提供する。【構成】 絶縁性薄膜で被覆された水晶振動子の一方の面側に1組の対向電極および金属酸化物半導体ガス感応膜を順次形成させ、他方の面側に加熱用薄膜ヒータを形成させたガスセンサ。
請求項（抜粋）：
絶縁性薄膜で被覆された水晶振動子の一方の面側に1組の対向電極および金属酸化物半導体ガス感応膜を順次形成させ、他方の面側に加熱用薄膜ヒータを形成させてなるガスセンサ。
IPC (2件)：
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