特許

J-GLOBAL ID：200903014586537144

塩基増殖剤、塩基増殖剤組成物、塩基反応性組成物及びパターン形成方法

発明者： 市村 國宏 ,  有光 晃二
出願人/特許権者： 市村 國宏
代理人 (1件)： 池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143059
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330270
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 塩基の作用によって自ら分解して新たな塩基を生成する塩基増殖剤及びそれを含む組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも1つのウレタン結合を含有するウレタン系化合物からなり、該ウレタン系化合物は、該ウレタン結合を形成するアミノ基由来の塩基の作用により分解して該ウレタン結合由来の塩基を発生することを特徴とする塩基増殖剤。前記塩基増殖剤と塩基発生剤とからなることを特徴とする塩基増殖剤組成物。塩基増殖剤、光塩基発生剤及び重合性エポキシ化合物からなることを特徴とする感光性組成物及びこの感光性組成物をパターン形成材料として用いることを特徴とするパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのウレタン結合を含有するウレタン系化合物からなり、該ウレタン系化合物は、該ウレタン結合を形成するアミノ基由来の塩基の作用により分解して該ウレタン結合由来の塩基を発生することを特徴とする塩基増殖剤。

IPC (8件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027 ,  C07C271/24 ,  C07C271/28 ,  C07D211/14 ,  C07D211/26 ,  C07D295/20

FI (9件)：

G03F 7/004 503 B ,  G03F 7/038 601 ,  C07C271/24 ,  C07C271/28 ,  C07D211/14 ,  C07D211/26 ,  C07D295/20 Z ,  C07D295/20 A ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (23件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD23 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  4C054AA02 ,  4C054BB03 ,  4C054CC03 ,  4C054DD01 ,  4C054DD03 ,  4C054EE01 ,  4C054FF06 ,  4C054FF16 ,  4C054FF33 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AB80 ,  4H006AB92 ,  4H006RA28 ,  4H006RA38