特許
J-GLOBAL ID：200903014596074541
メカニカルスイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-064349
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242462
出願日： 2006年03月09日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】信頼性を向上させることができるとともに、動作がばらつくのを抑制することが可能なメカニカルスイッチを提供する。【解決手段】このメカニカルスイッチは、下部制御電極2に対して所定の間隔を隔てて対向するように配置され、下部制御電極2との間に発生された静電気力によりシリコン基板1側に移動する上部制御電極8と、信号線4に対して所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、上部制御電極8と連結され、上部制御電極8と共にシリコン基板1側に移動することにより信号線4と接触する接触電極6と、シリコン基板1と上部制御電極8とを連結するとともに、上部制御電極8の弾性率よりも低い弾性率を有するSiOC膜10の部分10aとを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板側に形成された第1制御電極および信号線と、
前記第1制御電極に対して所定の間隔を隔てて対向するように配置され、前記第1制御電極との間に発生した静電気力により前記基板側に移動する第2制御電極と、
前記信号線に対して所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、前記第2制御電極と連結され、前記第2制御電極と共に前記基板側に移動することにより前記信号線と接触する接触電極と、
前記基板と前記第2制御電極とを連結するとともに、前記第2制御電極の弾性率よりも低い弾性率を有する第1弾性部材とを備えた、メカニカルスイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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マイクロマシンスイッチ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-073469
出願人：日本電気株式会社, 東北日本電気株式会社
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