特許
J-GLOBAL ID：200903014599839832
試料搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235230
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074689
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】平板上の試料をチャック装置に着脱する際に、平行度に左右されずに確実に着脱させることのできる試料搬送装置を得る。【構成】平板状の試料(例えばウェハ)3を所定位置からチャック装置4まで搬送する試料搬送装置において、試料3を着脱自在に保持する保持部13と、試料3を所定の位置からチャック装置4まで移動するための搬送手段と、保持部13と搬送手段との間を連結する連結部(搬送アーム)9と、連結部9の少なくとも一部に介在する弾性体(板ばね)19とを備えてなることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
平板状の試料を所定位置からチャック装置まで搬送する試料搬送装置において、前記試料を着脱自在に保持する保持部と、前記試料を前記所定の位置から前記チャック装置まで移動するための搬送手段と、前記保持部と前記搬送手段との間を連結する連結部と、前記連結部の少なくとも一部に介在する弾性体とを備えてなることを特徴とする試料搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B25J 18/02
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01L 21/68
