特許

J-GLOBAL ID：200903014603328333

温・湿度セラミックセンサとその製造方法

発明者： 沖 猛雄 ,  桑野 三郎 ,  大竹 輝徳 ,  広住 俊次 ,  村田 光生 ,  村田 省三 ,  石塚 哲也
出願人/特許権者： 沖 猛雄 ,  静岡県 ,  村田ボーリング技研株式会社 ,  日本ベーレー株式会社
代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-156168
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322818
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 温度と湿度を単一素子で検出できる複合機能素子を開発するとともに、良質なセンサ素子膜を量産可能とすること。【構成】 温・湿度セラミックセンサ10であって、電気絶縁基板11上に設けられた下部電極12と、下部電極12上に真空プラズマ溶射して形成されたチタン酸バリウムとチタン酸ストロンチウムの固溶体からなる多孔質素子膜13と、多孔質素子膜13上に設けられた上部電極14とを有してなるもの。

請求項（抜粋）：

電気絶縁基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に真空プラズマ溶射して形成されたチタン酸バリウムとチタン酸ストロンチウムの固溶体からなる多孔質素子膜と、多孔質素子膜上に設けられた上部電極とを有してなる温・湿度セラミックセンサ。

IPC (4件)：

G01N 27/04 ,  G01K 7/00 ,  G01K 7/16 ,  G01N 27/12