特許
J-GLOBAL ID:200903014608549320

振動型角速度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-149415
公開番号(公開出願番号):特開平10-339637
出願日: 1997年06月06日
公開日(公表日): 1998年12月22日
要約:
【要約】【目的】 検出出力中のオフセット量を積極的に打ち消すようにした振動型角速度検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 両検出用圧電素子60、70の各検出出力中の各オフセット量が、振動片12に対する両駆動用圧電素子40、50からのY軸方向加振力及び振動片13に対する両駆動用圧電素子20、30からの上記Y軸方向加振力とは逆位相のY軸方向加振力によって打ち消される。
請求項(抜粋):
X軸、Y軸及びZ軸からなる直交座標系にてZ軸方向を軸として可動体に支持される振動部材(10、10a)と、この振動部材に当該振動部材をX軸方向に振動させるように装着された両駆動用圧電素子(20乃至50)と、前記振動部材に装着されて前記振動部材のX軸方向の振動をモニターして参照用出力を発生する参照用圧電素子(80乃至110)と、前記振動部材に装着されてこの振動部材のX軸方向の振動のもと可動体の角速度に応じて前記振動部材に発生するY軸方向の振動を検出する検出用圧電素子(60、70)と、前記振動部材がX軸方向に振動するように前記参照用圧電素子の参照用出力に基づき前記両駆動用圧電素子を互いに逆位相にて駆動する制御手段(120、150、180乃至210)と、前記参照用圧電素子の参照用出力及び前記検出用圧電素子の検出出力に基づき前記角速度を検出する角速度検出手段(120、130、160、170)とを備える振動型角速度検出装置であって、前記制御手段が、前記参照用出力に基づき前記X軸方向の振動の位相をずらせるように前記振動部材に対するY軸方向への加振力を発生する加振力発生手段(190乃至210)を備えて、前記加振力に基づき前記両駆動用圧電素子を介し前記振動部材にY軸方向に加振するようにした振動型角速度検出装置。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04

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