特許

J-GLOBAL ID：200903014617421190

薄膜作動型ミラーアレイ

発明者： ジ,ジェオン,ベオム ,  ウム,グレゴリイ
出願人/特許権者： オーラ システムズ,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-522471
公開番号（公開出願番号）：特表平9-509504
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】作動型ミラーアレイ(10)のための薄膜作動型ミラーはペデスタル(14)と、該ペデスタルからカンチレバーされた少なくとも1つの圧電構造体(12)とを有する。圧電構造体は2つの対向する面(24、26)を有する圧電材料(18)層を含む。2つの金属電極(20、22)が圧電材料層の対向する面にそれぞれ装着されている。電気信号が圧電材料にわたって電極間で印可され、圧電材料を変形せしめる。ミラー面が圧電材料層の変形に応答して変形するように、圧電材料層に相互接続されたミラー面(32)を薄膜作動型ミラーが更に有する。

請求項（抜粋）：

薄膜作動型ミラーであって、該薄膜作動型ミラーは、ペデスタルと、該ペデスタルから片持ち梁とされた少なくとも一つの圧電構造体とを有し、該圧電構造体は二つの対向する面を有する圧電材料層と、二つの金属電極とを有し、該電極の各々は該圧電材料の対向する面にそれぞれ取り付けられていて、該圧電材料にわたって該電極間に印可される電気信号により該圧電材料は変形せしめられ、該薄膜作動型ミラーはさらにミラー面を有し、該圧電材料層の変形に応答して該ミラー面が変形するように該ミラー面が該圧電構造体に相互接続されている薄膜作動型ミラー。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• M×N薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-338259   出願人：大宇電子株式會社