特許
J-GLOBAL ID：200903014623098962
2次元運動機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034212
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230991
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 スライダにかかる荷重を好適に支持でき、高荷重に耐え、位置決め精度、分解性能、減衰性能及び高速性能等を向上させること。【解決手段】 基台10と、一対のX軸固定ガイド12と、一対のY軸固定ガイド14と、X軸固定ガイド12に沿ってX軸方向へ移動可能なX軸移動ビーム16と、Y軸固定ガイド14に沿ってY軸方向へ移動可能なY軸移動ビーム18と、X軸移動ビーム16に沿ってY軸方向へ、Y軸移動ビーム18に沿ってX軸方向へ移動可能なスライダ20と、スライダ20をX軸方向へ移動させるX軸ボールネジ22と、スライダ20をY軸方向へ移動させるY軸ボールネジ24と、X軸サーボモータ26と、Y軸サーボモータ28と、基台10の一対のX軸固定ガイド12の間に、該X軸固定ガイド12と平行にX軸方向へ固定され、X軸移動ビーム16のX軸方向への移動を案内する間部固定ガイド30とを具備する。
請求項（抜粋）：
基台と、該基台に第1軸方向へ平行に固定された一対の第1軸固定ガイドと、前記基台に前記第1軸方向と直角な第2軸方向へ平行に固定された一対の第2軸固定ガイドと、該一対の第2軸固定ガイドに平行に配され、両端部で前記一対の第1軸固定ガイドにスライド可能に連繋され、該第1軸固定ガイドに沿って前記第1軸方向へ移動可能な第1軸移動ビームと、前記一対の第1軸固定ガイドに平行に配され、前記基台に対して前記第1軸移動ビームより離れた位置を通り、両端部で前記一対の第2軸固定ガイドにスライド可能に連繋され、該第2軸固定ガイドに沿って前記第2軸方向へ移動可能な第2軸移動ビームと、前記第1軸移動ビーム及び前記第2軸移動ビームにスライド可能に連繋され、前記基台に対して前記第1軸移動ビームの前記基台側の部位よりも離れた位置で、第1軸移動ビームに沿って前記第2軸方向へ、第2軸移動ビームに沿って前記第1軸方向へ移動可能なスライダと、前記第2軸移動ビームに、前記第1軸方向に平行に且つ軸線を中心に回転可能に配設され、前記スライダに螺合して該スライダを前記第1軸方向へ移動させる第1軸ボールネジと、前記第1軸移動ビームに、前記第2軸方向に平行に且つ軸線を中心に回転可能に配設され、前記スライダに螺合して該スライダを前記第2軸方向へ移動させる第2軸ボールネジと、前記第1軸ボールネジを回転させるための第1軸駆動手段と、前記第2軸ボールネジを回転させるための第2軸駆動手段と、前記基台の前記一対の第1軸固定ガイドの間に、該第1軸固定ガイドと平行に第1軸方向へ固定され、前記第1軸移動ビームが該第1軸移動ビームの前記基台側の部位でスライド可能に連繋され、該第1軸移動ビームの第1軸方向への移動を案内する間部固定ガイドとを具備することを特徴とする2次元運動機構。
Fターム (5件)：
2F078CA08
, 2F078CB12
, 2F078CB18
, 2F078CC02
, 2F078CC16
