特許

J-GLOBAL ID：200903014625227212

塗布装置および塗布方法

発明者： ▲高▼島 洋祐
出願人/特許権者： コニカミノルタホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-033527
公開番号（公開出願番号）：特開2004-243164
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】高分子を含有する塗布液を液滴としてノズルから吐出するインクジェットヘッドを使用し、基板表面に塗布液を均一に塗布する。【解決手段】塗布液9を液滴としてノズル3から吐出するインクジェットヘッド1を使用し、連続的に搬送される基板6へ塗布液9を塗布する塗布装置において、インクジェットヘッド1近傍の雰囲気を包囲する雰囲気制御ボックス8と、雰囲気制御ボックス8内の雰囲気温度および雰囲気湿度を制御する雰囲気制御手段8Aを有する塗布装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

塗布液を液滴としてノズルから吐出するインクジェットヘッドを使用し、連続的に搬送される基板へ塗布液を塗布する塗布装置において、 前記インクジェットヘッド近傍の雰囲気を包囲する雰囲気制御ボックスと、前記雰囲気制御ボックス内の雰囲気温度および雰囲気湿度を制御する雰囲気制御手段を有することを特徴とする塗布装置。

IPC (7件)：

B05C5/00 ,  B05C9/10 ,  B05C9/12 ,  B05D1/26 ,  B41J2/01 ,  B41J2/165 ,  B41J3/407

FI (7件)：

B05C5/00 101 ,  B05C9/10 ,  B05C9/12 ,  B05D1/26 Z ,  B41J3/00 F ,  B41J3/04 101Z ,  B41J3/04 102N

Fターム (47件)：

2C056EA07 ,  2C056EA14 ,  2C056EA17 ,  2C056EC07 ,  2C056EC29 ,  2C056EC30 ,  2C056HA44 ,  2C056JA25 ,  2C062RA01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC72 ,  4D075AC80 ,  4D075BB24Z ,  4D075BB33Z ,  4D075BB57Z ,  4D075BB93Z ,  4D075CA48 ,  4D075DA04 ,  4D075DB07 ,  4D075DB18 ,  4D075DB33 ,  4D075DB36 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DC27 ,  4D075EA06 ,  4D075EA07 ,  4D075EB19 ,  4F041AA12 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA35 ,  4F041BA54 ,  4F041BA56 ,  4F042AA22 ,  4F042AB00 ,  4F042BA19 ,  4F042BA20 ,  4F042BA25 ,  4F042CA01 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10 ,  4F042CB19 ,  4F042DA03 ,  4F042DD35