特許

J-GLOBAL ID：200903014626274958

テトラアルキルアンモニウムイオン含有液の処理方法

発明者： 逸見 ひろみ ,  菅原 広
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 三浦 進二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304515
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126766
出願日： 1998年10月26日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 陽イオン交換樹脂やキレート樹脂をテトラアルキルアンモニウム(TAA)イオン含有液との接触処理に供し、再生するサイクルを繰り返しても、樹脂がクラックを生じて早期に劣化することがない様にする。【解決手段】 強酸性陽イオン交換樹脂、弱酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂の少なくとも一つの樹脂を用いてTAAイオン含有液(例えば、フォトレジスト現像廃液)を処理するに当たって、または、強酸性陽イオン交換樹脂及び弱酸性陽イオン交換樹脂の少なくとも一つの樹脂を用いてTAAイオン含有液からTAAイオンを吸着除去した後に水を回収するに当たって、上記TAAイオン含有液のTAAイオン濃度を0.15重量%以下として上記の少なくとも一つの樹脂に接触させてTAAイオンを吸着させる。上記TAAイオン濃度を0.15重量%以下とする方法として、他の排水等の水で希釈する方法の他に、電気透析法、電解法、逆浸透膜処理法、生物処理法を用いることもできる。上記の少なくとも一つの樹脂を再生する際の再生剤の酸濃度を、1当量/L(リットル)以下とするのが好ましい。

請求項（抜粋）：

強酸性陽イオン交換樹脂、弱酸性陽イオン交換樹脂及びキレート樹脂から選ばれる少なくとも一つの樹脂を用いてテトラアルキルアンモニウムイオン含有液を処理するに当たって、前記テトラアルキルアンモニウムイオン含有液のテトラアルキルアンモニウムイオン濃度を0.15重量%以下として前記の少なくとも一つの樹脂に接触させてテトラアルキルアンモニウムイオンを吸着させることを特徴とするテトラアルキルアンモニウムイオン含有液の処理方法。

IPC (6件)：

C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/46 ,  C02F 1/469 ,  C02F 3/00 ,  G03F 7/32

FI (6件)：

C02F 1/42 D ,  C02F 1/44 F ,  C02F 1/46 Z ,  C02F 3/00 Z ,  G03F 7/32 ,  C02F 1/46 103

Fターム (28件)：

2H096GA09 ,  2H096LA25 ,  4D006GA03 ,  4D006GA17 ,  4D006KB11 ,  4D006PB08 ,  4D006PB14 ,  4D006PB20 ,  4D006PC01 ,  4D025AA09 ,  4D025AB38 ,  4D025BA09 ,  4D025BA10 ,  4D025BA17 ,  4D025BA22 ,  4D025BB02 ,  4D025BB03 ,  4D025BB04 ,  4D025DA05 ,  4D025DA06 ,  4D025DA10 ,  4D027BA05 ,  4D027CA05 ,  4D061DA08 ,  4D061EA03 ,  4D061EA04 ,  4D061EA09 ,  4D061FA08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 廃液から水酸化有機第四アンモニウムを回収する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-337835   出願人：多摩化学工業株式会社
• 廃液処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-095974   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社