炭素被覆、炭素被覆を施す方法および装置、およびその様な被覆を施した物品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339168
公開番号（公開出願番号）：特開2002-161352
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】耐磨耗性を有する炭素-炭素結合が大部分グラファイト状sp2形態である新規炭素被覆方法を提供する。【解決手段】少なくとも1個以上の炭素ターゲットを使用し、被覆する基材に印加するイオン電流密度を0.5mA/cm2を超える電流密度でスパッターイオンプレーティングすることにより、湿潤条件下で10-16m3/Nm未満の国有磨耗率を有する炭素含有被覆を製造する。物品22の上にクロム層24を堆積させて、被覆と物品の密着性をよくし、その上に炭化クロム層26がある。最外層にグラファイト状の層28Cr×Cyが被覆されている。

請求項（抜粋）：

被覆中の炭素-炭素結合が大部分グラファイト状sp2形態であり、かつ、該被覆が、湿潤条件下で10-16m3/Nm未満の固有摩耗率を有する、炭素含有被覆を施した物品。

IPC (3件)：

C23C 14/06 , C23C 14/34 , C23C 14/35

FI (5件)：

C23C 14/06 F , C23C 14/06 N , C23C 14/34 R , C23C 14/34 C , C23C 14/35 C

Fターム (11件)：

4K029BA07 , 4K029BA34 , 4K029BA55 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029CA06 , 4K029DC03 , 4K029DC05 , 4K029DC16 , 4K029DC39 , 4K029JA02

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