特許
J-GLOBAL ID：200903014634907994
圧力センサ素子の製造方法およびその圧力センサ素子を使用した圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281803
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129926
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 生産性を向上させることができる圧力センサ素子の製造方法およびその圧力センサ素子を使用した圧力センサを提供する。【構成】 チタン合金よりなるウエハに複数の凹部を形成し、これにアニーリングを行ったのち、ウエハを分割して複数の圧力センサ素子5を得る。このとき、ウエハにチタン合金を用いたので反りは生じない。筒部材3は圧力センサ素子5を取付けてハウジング1の貫通孔2に挿通固着する。線膨張係数の差を無くすために筒部材3にチタン合金を用いる。ハウジング1にステンレス鋼が用いられても、共材11を介在させて溶接すると、筒部材3の固着が強固となる。筒部材3とハウジング1との間に逃げbを設けると、両者の線膨張を吸収できる。そして、ハウジング1と、端子9を有するコネクタ8とで形成される空所に、回路基板6を設けることにより、圧力センサ素子5より得られる検知信号が外方に出力される。
請求項（抜粋）：
チタン合金よりなる盤状のウエハ(12)の一方の端面に複数の凹部(13)を形成し、この凹部(13)に対応する部位に薄肉な受圧部を形成したのち、アニーリングを行い、この後前記ウエハ(12)の各受圧部上に絶縁膜、ゲージ膜、配線膜を順次所定の形状で層状に形成し、受圧部毎に所定の形状に分割することにより複数の圧力センサ素子(5)(5a)を得ることを特徴とする圧力センサ素子の製造方法。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
