特許

J-GLOBAL ID：200903014642258172

コンデンサ装置及び該コンデンサ装置の製法

発明者： ヴォルフラム ヴェルジング ,  ライナー ブルッフハウス
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161838
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 高集積半導体記憶装置部材の製造に使用されるコンデンサ装置及び該コンデンサ装置の製法。【構成】 コンデンサ誘電体が単結晶強誘電層であり、かつ電極が基板に対して垂直に配置されている。

請求項（抜粋）：

単結晶半導体基板(1)上のコンデンサ装置において、コンデンサ誘電体が単結晶強誘電層(5)であり、かつ電極(6)が基板(1)に対して垂直に配置されていることを特徴とする、コンデンサ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/8242 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2件)：

H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/04 C