特許

J-GLOBAL ID：200903014643462709

圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置の製造方法

発明者： 高橋 義和
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-080283
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355981
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】【課題】 分極工程が煩雑とならず、しかもクロストークのない圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置の製造方法を提供する。【解決手段】 圧電材料板1の各液室5に対応する位置において両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔を置いた複数の分極用電極を形成し、その分極用電極に電圧を印加することにより、圧電材料板を面方向にほぼ平行に分極する。その後、圧電材料板を前記圧電材料板を両側から研磨して前記分極用電極を除去する。圧電材料板の両表面に圧電材料板の分極方向に対して交差する電界をかけるための駆動用電極2,3を形成する。この圧電材料板1を複数の液室5にまたがって共通に用いられ、圧電材料板の厚さ方向の変形を利用して各液室の容積を変化させることにより液室内の液体を噴射する。

請求項（抜粋）：

圧電材料板の厚さ方向に対向する両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔をおいた複数の分極用電極を形成する工程と、前記圧電材料板に形成された前記分極用電極に電圧を印加することにより、前記圧電材料板を、前記面方向にほぼ平行に分極する工程と、前記圧電材料板の分極後に、前記圧電材料板を前記圧電材料板の片側または両側から研磨して前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程と、前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程の後に、前記圧電材料板の両表面に前記圧電材料板の前記分極部分に対して電界をかけるための駆動用電極を形成する工程とを備えることを特徴とする圧電トランスデューサの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  H01L 41/22

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP51 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14