特許

J-GLOBAL ID：200903014644365103

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 大川 成実
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (2件)： 北野 好人 ,  三村 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-209681
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032672
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】カラーピクセルアレイ部が通常のウェル内に形成され、ブラックピクセルアレイ部が二重ウェルの中のウェル内に形成された固体撮像装置において、周辺回路トランジスタの製造プロセスとの整合性を確保しつつ、ピクセルの高感度化を実現しうる固体撮像装置の構造及び製造方法を提供する。【解決手段】 第1のウェル内に形成されフォトダイオード及び第1の読み出しトランジスタとを有するカラーピクセルと、二重ウェルである第2のウェル内に形成されフォトダイオード及び第2の読み出しトランジスタとを有するブラックピクセルとを有し、第1のウェルが第1の読み出しトランジスタが形成された領域のウェル底部に埋め込み不純物層を有し、第2のウェルがフォトダイオードが形成された領域及び第2の読み出しトランジスタが形成された領域のウェル底部に埋め込み不純物層を有する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

カラーピクセル領域及びブラックピクセル領域を有する第1導電型の半導体基板と、 前記カラーピクセル領域に形成された前記第1導電型の第1のウェルと、 前記ブラックピクセル領域に形成された前記第1導電型の第2のウェルと、 前記第2のウェルを囲うように形成され、前記第2のウェルを前記半導体基板の他の領域から分離する第2導電型の第3のウェルと、 前記カラーピクセル領域の前記第1のウェル内に形成され、第1のフォトダイオードと、前記第1のフォトダイオードにより発生した信号を読み出すための第1の読み出しトランジスタとを有するカラーピクセルと、 前記ブラックピクセル領域の前記第2のウェル内に形成され、第2のフォトダイオードと、前記第2のフォトダイオードから出力される信号を読み出すための第2の読み出しトランジスタとを有するブラックピクセルとを有し、 前記第1のウェルは、前記第1の読み出しトランジスタが形成された領域のウェル底部に、前記第1導電型の第1の埋め込み不純物層を有し、 前記第2のウェルは、前記第2のフォトダイオードが形成された領域及び前記第2の読み出しトランジスタが形成された領域のウェル底部に、前記第1導電型の第2の埋め込み不純物層を有する ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L27/14 A ,  H04N5/335 E ,  H04N5/335 S ,  H04N5/335 U

Fターム (34件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118DA31 ,  4M118DA32 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118FA42 ,  4M118FA47 ,  4M118FA50 ,  4M118GB03 ,  4M118GB09 ,  4M118GC07 ,  5C024AX01 ,  5C024CX32 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GX16 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ01 ,  5C024GZ38 ,  5C024GZ39 ,  5C024GZ40 ,  5C024HX01 ,  5C024HX40 ,  5C024HX41

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-130216   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (1件)

• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-130216   出願人：富士通株式会社