特許

J-GLOBAL ID：200903014649896239

異物検出方法およびその装置

発明者： 中村 篤史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-245721
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074849
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 光透過性を有する被検査物Bの表面B1側から裏面B2側の異物検出する。【解決手段】 被検査物Bの表面B1側から、被検査物Bの表面B1に撮像手段12の焦点を合わせて撮像し、撮像された画像から被検査物Bの表面B1側の異物Pを検出する。被検査物Bの表面B1側から、被検査物Bの裏面B2に撮像手段12の焦点を合わせて撮像し、撮像された画像から異物Pを検出する。被検査物Bの表面撮像時に検出された被検査物Bの表面B1側の異物Pと被検査物Bの裏面撮像時に検出された異物Pとを比較して、被検査物Bの裏面B2側の異物Pを検出する。

請求項（抜粋）：

光透過性を有する被検査物の表面側から、被検査物の裏面に撮像手段の焦点を合わせて撮像し、撮像される画像から被検査物の裏面側の異物を検出することを特徴とする異物検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G02F 1/13 101

FI (2件)：

G01N 21/88 D ,  G02F 1/13 101

Fターム (26件)：

2G051AA41 ,  2G051AA56 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB08 ,  2G051BB01 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB03 ,  2G051CB05 ,  2G051CD03 ,  2G051CD06 ,  2G051CD07 ,  2G051DA07 ,  2G051EB10 ,  2G051EC02 ,  2G051ED02 ,  2G051ED09 ,  2G051FA01 ,  2G051GC04 ,  2G051GD02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA24 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20