特許
J-GLOBAL ID：200903014659466542
測定用セル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-231901
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056286
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【課題】 流路断面積が十分に小さく気密性が確実に保てる測定室を有し、化学的に安定で、測定感度が高い測定用セルを得る。【解決手段】 ガラス基板1、2を接合して構成され、ガラス基板1の接合面にはフォトファブリケーション技術およびウェットエッチング技術により流路溝6が形成されるとともに、ガラス基板2には液体試料導入および排出のための貫通孔9、10が形成され、ガラス基板1の接合面の流路溝6以外の接合界面をスパッタ法により成膜したSiO24膜で覆い、かつ流路溝6内面は基板の素材を露出させるようにして接合をおこなう。さらに、接合面にスパッタ法等により光学的に不透明なSi膜3をスリットとして形成する。
請求項（抜粋）：
液体試料を導入するための試料導入口と、導入された液体試料の流路と、液体試料を排出する排出口が設けられ、前記流路のうちの少なくとも一部の領域を測定室として用いる測定用のセルであって、この測定用セルの測定流路を、酸化ケイ素薄膜を用いて接合された2枚の基板にて形成し、かつ前記流路内面には酸化ケイ素薄膜が対面しない構造を有することを特徴とする測定用セル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2G057AA01
, 2G057AA14
, 2G057AB01
, 2G057AB03
, 2G057AB06
, 2G057AC01
, 2G057BA05
, 2G057BB02
, 2G057BD02
, 2G057DC07
, 2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059EE01
, 2G059EE06
, 2G059HH02
, 2G059HH03
