特許

J-GLOBAL ID：200903014666918432

半導体加速度センサー

発明者： 松永 忠雄 ,  国見 敬 ,  根津 正弘 ,  森 雅友
出願人/特許権者： 曙ブレーキ工業株式会社
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270496
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115635
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 感度の調整可能な、スイッチング動作を行う小型で扱い容易な半導体加速度センサーを提供する【解決手段】 短冊状の可動電極側半導体基板1と固定電極側半導体基板2を積層してなり、可動電極側基板1に、重錘部5および肉薄の片持梁部6を設けるとともに、前記重錘部5上に可動電極3を、前記片持梁部6上に第1の静電吸引電極30をそれぞれ設け、固定電極側基板2に、前記可動電極3に対向する位置に固定電極4を、前記静電吸引電極30に対向する位置に第2の静電吸引電極40をそれぞれ設けた半導体加速度センサーにおいて、第1の静電吸引電極および第2の静電吸引電極を相対向して設け、両静電吸引電極間に所定の間隙を設けるとともに、両静電吸引電極間に所定の電圧を印加するようにした。

請求項（抜粋）：

短冊状の可動電極側半導体基板と固定電極側半導体基板を積層してなり、可動電極側基板に、重錘部および肉薄の片持梁部を設けるとともに、前記重錘部上に可動電極を、前記片持ち梁部上に第1の静電吸引電極をそれぞれ設け、固定電極側基板に、前記可動電極に対向する位置に固定電極を、前記静電吸引電極に対向する位置に第2の静電吸引電極をそれぞれ設けた半導体加速度センサーにおいて、第1の静電吸引電極および第2の静電吸引電極を相対向して設け、両静電吸引電極間に所定の間隙を設けるとともに、両静電吸引電極間に所定の電圧を印加するようにしたことを特徴とする半導体加速度センサー。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 衝撃検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-177084   出願人：デルコ・エレクトロニクス・コーポレーション
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-255918   出願人：アルプス電気株式会社