特許

J-GLOBAL ID：200903014669927955

機能性薄膜積層体

発明者： 伊藤 彰浩 ,  佐藤 新治
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
代理人 (1件)： 友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023180
公開番号（公開出願番号）：特開平5-186298
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 単結晶基上に薄膜を形成する薄膜積層体製造において、中間層材料を多様することにより、デバイスの材料も多様化可能となし、安価にして高性能薄膜積層体を提供する。【構成】 (イ)SiまたはGeの少なくとも1種を含有する単結晶基板、(ロ)その上に形成されたLi,Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Sc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Tb,Tm,Yb,Al,Ti,Zr,Hf,Th,V,Ta,よりなる群から選らばれた金属元素の少なくとも1種の金属酸化物よりなる中間層、(ハ)中間層上に形成された機能性酸化物薄膜よりなる。中間層(ロ)は、結晶面内において、(i)4個の金属原子配置が1辺5.1〜6.1Åまたは3.5〜4.4Åの四角形をなし、(ii)4個の酸素原子配置が一辺3.5〜4.8Åまたは2.5〜3.4Åの四角形をなす。

請求項（抜粋）：

(イ)SiまたはGeの少なくとも1種を含有する単結晶基板、(ロ)その上に形成されたLi,Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Sc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Eu,Tb,Tm,Yb,Al,Ti,Zr,Hf,Th,V,Ta,よりなる群から選らばれた金属元素の少なくとも1種の金属酸化物よりなる中間層、(ハ)前記中間層上に形成された機能性酸化物薄膜よりなる機能性薄膜積層体。

IPC (2件)：

C30B 29/22 ,  H01L 21/84

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-295983