特許

J-GLOBAL ID：200903014677886478

ウエハ表面保護シートおよびその利用方法

発明者： 中 川 昭 男 ,  田 口 克 久
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338626
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201787
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【構成】 本発明のウエハ表面保護シートは、熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、(i)部分中和型カルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、(ii)アニオン性および/またはカチオン性の液状界面活性剤と、必要に応じ、(iii)非イオン性界面活性剤とからなる水膨潤性粘着剤層が設けられてなる。【効果】 ウエハの裏面研摩時あるいは切断時に発生する研摩屑あるいは切断屑から、ウエハ表面の回路パターンを効果的に保護できる。また容易に剥離することができ、残留した粘着剤を簡単に洗い落せる。

請求項（抜粋）：

熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、(i)少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、(ii)アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも1種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ表面保護シート。

IPC (7件)：

H01L 21/304 321 ,  C09J 7/02 JHR ,  C09J 7/02 JJT ,  C09J 7/02 JJW ,  C09J 7/02 JKK ,  C09J 7/02 JLF ,  H01L 21/301

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-296222
  
• 特開昭64-061208