特許

J-GLOBAL ID：200903014679819344

基板搬送容器

発明者： 田中 亮 ,  岸 貴士
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403875
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170876
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【目的】 収容した保管又は搬送対象基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止すると共に、乾燥気体等を容器内に導入してその雰囲気を短時間で効率的に置換できるようにした基板搬送容器を提供する。【構成】 内部に保管又は搬送の対象とする基板を収納する容器本体12と、容器本体12に対して密閉可能なドア14とで構成される基板搬送容器10において、基板搬送容器10内を清浄な気体で流通又は置換するための給気口30及び排気口32と、給気口32に接続し容器10内に延びるダクト38と、ダクト38の容器10内方に向けた面に配置した整流板40とを備えた。

請求項（抜粋）：

内部に保管または搬送の対象とする基板を収納する容器本体と、該容器本体に対して密閉可能なドアとで構成される基板搬送容器において、前記基板搬送容器内を清浄な気体で流通または置換するための給気口及び排気口と、前記給気口に接続し前記容器内に延びるダクトと、該ダクトの容器内方に向けた面に配置した整流板とを備えたことを特徴とする基板搬送容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 81/24 ,  B65D 85/86

FI (4件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 81/24 C ,  B65D 81/24 D ,  B65D 85/38 D

Fターム (34件)：

3E067AA11 ,  3E067AB41 ,  3E067AC03 ,  3E067BA05A ,  3E067BB14A ,  3E067BC06A ,  3E067CA04 ,  3E067CA05 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GA19 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA25 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096FA03 ,  3E096FA22 ,  3E096GA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA09 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031NA16 ,  5F031PA26