特許

J-GLOBAL ID：200903014684193062

表面粗さ評価方法

発明者： 伊藤 考治郎 ,  梅田 信行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-011228
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221838
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 表面粗さ評価方法に関し,表面凹凸の特徴を定量的に評価することを目的とする。【構成】 被測定面1aの表面凹凸を,波数をパラメータとするフーリェ変換によりスペクトルに変換し,特徴的スペクトルが現出する所定の波数域についてスペクトルを比較し,比較の結果を表面粗さの評価値とする。

請求項（抜粋）：

表面粗さ計を用いて被測定面(1a)の形状を線分に沿って測定する工程と,測定された該被測定面(1a)の形状を,該線分に沿う長さを変数とし,波数をパラメータとするフーリェ変換によりスペクトルに変換する工程と,予め指定された波数範囲内における該スペクトルの強度に基づき表面粗さを評価する工程とを有することを特徴とする表面粗さ評価方法。