静電浮上力発生機構及びこれを用いた静電チャック装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029490
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229685
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】粉体(パーティクル)汚染を防止することができる静電圧による浮上力発生機構及びこれを用いた静電チャック装置を提供する。【解決手段】絶縁基体200の一表面に被反発体としての被保持体201に吸引力を作用させる2つの吸引電極202と、被保持体201へ反発力を作用させる2つの反発電極203とを備え、この2つの反発電極203は2つの吸引電極202間に介在するように配置するとともに、反発電極203の面積は吸引電極202より大きく設定されている。また、吸引電極202上には誘電体材料からなる突出部材204を形成しており、被保持体201を突出部材204の頂部上で支持する。

請求項（抜粋）：

(a)被保持体に対する一対の吸引電極と反発電極とをそれぞれ備えてなる絶縁基体と、(b)前記吸引電極上に形成した誘電体からなる突出部材とを備え、(c)前記吸引電極への電圧の印加による静電吸引力と、前記反発電極への電圧の印加による静電反発力との均衡により浮上力を発生させ、前記突出部材の頂部上に被保持体を支持するようにしたことを特徴とする静電浮上力発生機構。

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