特許
J-GLOBAL ID:200903014687810046
吸着機構付定盤
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松山 圭佑 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-253191
公開番号(公開出願番号):特開平11-090301
出願日: 1997年09月18日
公開日(公表日): 1999年04月06日
要約:
【要約】【課題】 ワーク載置面の吸着孔の数を増大することなく、異なるサイズのワークを確実に吸着させる。【解決手段】 吸着機構付定盤10における定盤本体11のワーク載置面12に複数の円形凹部14を形成し、ここに各々が負圧が印加される吸着孔16を有する吸着体18A〜18Fを回転自在に配置し、各吸着孔16は吸着体の円形中心から偏心させて、吸着体の回転角度によってワーク36(36A、36B)を吸引する位置が変更できるようにする。
請求項(抜粋):
ワーク載置面に、ワークを負圧により吸着固定するための複数の吸着孔を備えた吸着機構付定盤において、前記ワーク載置面に複数の円形凹部を形成し、この円形凹部に、厚さが、前記円形凹部の深さ以下の円板状部材であって、その円形中心から偏心した位置に少なくとも1個の吸着孔が形成された吸着体を、前記ワーク載置面と平行な面内で回転自在に嵌合すると共に、この吸着体の吸着孔に負圧を伝達する負圧伝達手段を設けたことを特徴とする吸着機構付定盤。
IPC (3件):
B05C 11/08
, B23Q 3/08
, H01J 9/227
FI (3件):
B05C 11/08
, B23Q 3/08 A
, H01J 9/227 E
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