真直形状測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020925
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210668
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】逐次2点法と一般2点法を組み合せて、高い形状測定精度と十分な横分解能をもった真直形状測定を可能とすること。【解決手段】プローブ(変位計)A,B間の間隔Dの整数M分の1の間隔S(=D/M)をデータサンプリング間隔として測定対象物1の表面を走査し、得られたN個の全データを用いて一般2点法によって形状Z(xn)を求め、またN個の全データを分割して出発点がSずつずれた移動距離D毎の逐次2点法によるM組の形状Pijを求め、形状Z(xn)のうち形状Pijの測定点に対応するN/M個の離散点からなる形状Zijから最小自乗法により出発点がSずつずれたM組の形状fij=qi +xij・ai +Pijを求め、必要に応じて最小自乗法の演算ではfijとZijとの差がしきい値を越える測定位置を除外しながら、係数qi ,ai を決定し、M組の形状fijを結合することによりサンプリング間隔S毎のN個の離散的データからなる全体形状を求める。

請求項（抜粋）：

変位計取付用ステージと測定対象物とが案内面に沿って相対的に移動する該ステージに、前記測定対象物との距離を測定する2個の変位計AとBを、前記移動方向に間隔Dをおいて設置し、該変位計A,Bによって前記測定対象物の表面を所定長だけ前記移動方向に走査して前記測定対象物の真直形状を測定する真直形状測定方法において:走査時のデータサンプリング間隔Sを、Mを整数として、S=D/Mとなるように設定し、データサンプリング間隔Sに等しい移動距離S毎に前記測定対象物との距離を前記変位計A,Bで測定すること;全データサンプリング数をNとするとき移動距離S毎に測定して得たN個の全データを用い、測定点のうち測定開始位置x0 における前記変位計A,Bで得たデータをそれぞれmA(x0),mB(x0)とし、測定開始位置x0 よりn(n=1,2,...,N-1)番目の測定位置xn における前記変位計A,Bで得たデータをそれぞれmA(xn),mB(xn)として、下式数1によりN個の離散点からなる前記測定対象物の形状データZ(xn)を求めること;前記N個の全データを、データ数がN/M個で、移動距離D毎のデータからなり出発点が前記間隔SずつずれたM組のデータグループに分割し、i=1,2,...,M、k=0,1,2,...,(N/M)-1として、i番目のデータグループに属するデータmA(xiK),mB(xiK)から、下式数2によりN/M個の離散点xiKからなる形状データPijをM組求めること;N個の離散点からなる前記形状データZ(xn)のうち、前記形状データPijでの測定点に対応するN/M個の離散点からなる部分形状データをZijとし、下式数3に示す最小自乗法の演算処理により、各組の形状データPijの出発点の高さの補正値を表わす係数qi と、形状データPij全体の傾きの補正値を表わす係数ai とを決定し、出発点がそれぞれ間隔SずつずれたM組の形状データfijを求めること;前記最小自乗法の演算処理により求めたM組の形状データfijを結合して、サンプリング間隔S毎のN個の離散的データからなる前記測定対象物の全体形状を求めることを特徴とする真直形状測定方法。【数1】【数2】【数3】

IPC (2件)：

G01B 21/20 , G01B 21/30 101

FI (2件)：

G01B 21/20 A , G01B 21/30 101 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-169309
特開昭55-104706
特開平1-169309

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