特許
J-GLOBAL ID:200903014692842770

レーザ照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-081117
公開番号(公開出願番号):特開2002-280650
出願日: 2001年03月21日
公開日(公表日): 2002年09月27日
要約:
【要約】【課題】 常に安定したレーザ光を照射できるレーザ照射装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1から発せられるレーザ光を光ファイバ2を介して照射するレーザ照射装置で、レーザ光源1と光ファイバ2との間の光路に配置され、光ファイバ2の入射端面上でのレーザ光の光軸位置を移動可能させる光学素子3と、光ファイバ2より出射されるレーザ光の光量と予め設定された目標値が一致するように光学素子3による光ファイバ2の入射端面上でのレーザ光の光軸位置を制御する制御装置6を有し、この制御装置6により、光ファイバ2より出射されるレーザ光の最大光量が得られる光ファイバ2の入射端面上でのレーザ光の光軸位置から外れた所定の範囲での光量を調光範囲として目標値が設定される。
請求項(抜粋):
レーザ光を発するレーザ光源手段と、前記レーザ光源手段から発せられるレーザ光の特定の光束を通過または遮光する光量規制手段と、前記レーザ光源手段と前記光量規制手段との間の光路上に配置された光学素子と、前記光学素子を駆動して前記光量規制手段に入射する前記レーザ光の光軸位置を移動させる駆動手段と、前記光量規制手段で特定の光束を通過または遮光されたレーザ光を受光し、受光したレーザ光の光量に応じた信号を出力する光検出手段と、前記光検出手段から出力された信号と目標値とを比較し、前記信号を前記目標値に一致させるために前記駆動手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御装置は、前記光量規制手段を介して前記光検出手段で検出されるレーザ光の光量が最大となる前記光量規制手段に入射する前記レーザ光の光軸位置に対して、前記駆動手段を制御して前記光量規制手段に入射する前記レーザ光の光軸位置を移動させ、前記最大光量より少ない光量を上限光量とし、該上限光量に対応するように目標値を初期設定した後、前記光検出手段で検出される前記レーザ光の光量に応じて前記駆動手段を制御し、前記光量規制手段に入射するレーザ光の光軸位置を移動させて前記光検出手段から出力される信号を前記目標値に一致させることを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (2件):
H01S 3/101 ,  G02B 26/08
FI (3件):
H01S 3/101 ,  G02B 26/08 A ,  G02B 26/08 E
Fターム (12件):
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AB26 ,  2H041AC01 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  5F072HH06 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072YY20

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