特許

J-GLOBAL ID：200903014693791460

金属膜形成用マスク、水晶ウエハおよびそれらを用いて製造した水晶振動子

発明者： 山本 泉
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-044184
公開番号（公開出願番号）：特開2004-254174
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】水晶振動子の周波数調整用金属膜の形成において金属膜形成用マスクが加熱されるため熱膨張により変形し、水晶ウエハと金属膜形成用マスクとがずれたり、隙間ができるなどして、形成される周波数調整用金属膜の形状や膜厚のバラツキが大きかった。【解決手段】金属膜形成用マスクの材料を水晶とした。水晶ウエハと材質が同一なので熱膨張によるずれが無くなり周波数調整用金属膜の形状、膜厚が均一となり、水晶振動子の共振周波数の分布が減少した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

水晶振動子の材料である水晶ウエハ上に設ける周波数調整用金属膜の形成に用いられる金属膜形成用マスクであって、水晶板を材料としてなることを特徴とする金属膜形成用マスク。

IPC (4件)：

H03H3/02 ,  C23C14/04 ,  H03H9/02 ,  H03H9/19

FI (4件)：

H03H3/02 A ,  C23C14/04 A ,  H03H9/02 M ,  H03H9/19 A

Fターム (8件)：

4K029AA08 ,  4K029BA01 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA04 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108KK05