特許
J-GLOBAL ID：200903014693830024
気中不純物捕集装置、気中不純物測定装置、および、気中不純物捕集方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-242645
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089734
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 気中不純物の捕集効率を高める。【解決手段】 ピストン32が上死点から所定位置Aまで移動する期間に第1電磁弁35が開放され、吸気管33からシリンダ31内へ気体が吸入される。その後、第1電磁弁35は閉塞し、ピストン32が下死点へいたるまでに気体は露点以下にまで断熱膨張する。ピストン32が下死点を通過し、上死点へと向かう際に、シリンダ31内に生じた結露液がピストン32によって掃引される。ピストン32が所定位置Bから上死点へと向かう間に、第2電磁弁36が開放され、結露液は排気管34へと排出される。結露液には気体中の不純物が混入している。ピストン32の運動によって気体が強制的に吸引され、しかも、熱の伝達によらずに断熱膨張によって気体全体が一気に冷却されるので、不純物の捕集の効率が高い。
請求項（抜粋）：
冷媒を流すための冷媒配管と、当該冷媒配管に介挿される冷媒吸入ポンプと、前記冷媒配管の下方に取り付けられ当該冷媒配管の表面に生じる結露液を自然落下によって収集するための受け皿と、を備え、前記受け皿の底部には、収集された結露液を排出する排出口が設けられており、前記冷媒配管および前記受け皿のそれぞれの少なくとも表面が、フッ素樹脂から成ることを特徴とする気中不純物捕集装置。
IPC (3件)：
G01N 1/22
, H01L 21/66
, G01N 33/00
G01N 1/22 X
, H01L 21/66 Z
, G01N 33/00 C
