特許
J-GLOBAL ID:200903014693910672
ビーム間隔測定装置および光ビーム走査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 司朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-253594
公開番号(公開出願番号):特開2001-074421
出願日: 1999年09月07日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構成で、2本の光ビームにおける主走査方向のビーム間隔および副走査方向のビーム間隔のいずれか一方の方向のビーム間隔を精度よく計測することができるビーム間隔測定装置を提供する。【解決手段】 フォトダイオード20は、細長い矩形状の受光域を備えている。この受光域の走査開始側の直線20aは、副走査方向に対してθs(0 ゚<θs<90 ゚)傾けて配設されている。CPUは、同じ走査周期におけるレーザビームLB2の直線20a侵入時とレーザビームLB1の直線20a侵入時との間の時間差Δtと、主走査方向のビーム間距離ΔX12と、走査速度Vと、副走査方向に対する直線20aの設定角度θsとに基づいて、副走査方向のビーム間距離ΔY12を演算する。
請求項(抜粋):
被走査対象の表面を主走査方向に周期的に走査する2本の光ビームにおける主走査方向および副走査方向のいずれか一方の方向のビーム間隔を測定するビーム間隔測定装置であって、受光域外縁の一部が主走査方向および副走査方向に対して非平行な直線であり、この直線部分を用いて各光ビームの受光域への侵入または退出を検出する検出手段と、同じ走査周期における各光ビームの前記直線侵入時または退出時の時間差に関する情報を計測する計測手段と、前記時間差に関する情報と、副走査方向に対する前記直線の設定角度に関する情報と、各光ビームの走査速度に関する情報と、主走査方向および副走査方向のビーム間隔のうちいずれか一方の方向のビーム間隔とに基づいて、他方の方向のビーム間隔を演算する演算手段とを備えることを特徴とするビーム間隔測定装置。
IPC (5件):
G01B 11/14
, B41J 2/44
, G02B 26/10
, G02B 26/10 108
, H04N 1/113
FI (7件):
G01B 11/14 Z
, G02B 26/10 B
, G02B 26/10 A
, G02B 26/10 F
, G02B 26/10 108
, B41J 3/00 M
, H04N 1/04 104 A
Fターム (61件):
2C362AA10
, 2C362BA04
, 2C362BA61
, 2C362BA69
, 2C362BA89
, 2C362BB32
, 2F065AA19
, 2F065AA21
, 2F065BB06
, 2F065BB16
, 2F065BB29
, 2F065CC00
, 2F065EE00
, 2F065FF32
, 2F065FF63
, 2F065GG06
, 2F065GG13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ18
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL08
, 2F065LL12
, 2F065LL15
, 2F065LL46
, 2F065LL62
, 2F065MM16
, 2F065NN02
, 2F065NN08
, 2F065NN20
, 2F065PP05
, 2F065PP13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ32
, 2F065QQ51
, 2H045AA01
, 2H045BA22
, 2H045BA33
, 2H045CA88
, 2H045CA98
, 2H045DA02
, 2H045DA12
, 5C072AA03
, 5C072BA04
, 5C072DA02
, 5C072DA04
, 5C072DA21
, 5C072HA02
, 5C072HA06
, 5C072HA10
, 5C072HA13
, 5C072HB08
, 5C072RA20
, 5C072WA06
, 5C072XA01
, 5C072XA05
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