特許
J-GLOBAL ID：200903014707549145
熱圧着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪股 祥晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040641
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236588
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】加熱ツールの側面に歪検出センサを設けて、熱圧着作業中の平坦度の変化を定量的に測定し、平坦度の変化が所定値を超えた時に熱圧着作業を停止できる熱圧着装置を提供する。【構成】本発明の熱圧着装置は、ガラス基板などの加熱圧着を行う熱圧着装置において、ガラス基板17などに接する内部に発熱体であるカートリッジヒータ3を収容した平坦なバー状の加熱ツール2の側面に、少なくても1つ以上の歪検出センサ14を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガラス基板などの加熱圧着を行う熱圧着装置において、前記ガラス基板などに接する内部に発熱体を収容した平坦なバー状の加熱ツールと、この加熱ツールの側面に歪検出センサを設けたことを特徴とする熱圧着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/603 C
, H05K 3/32 C
