絞り支持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257267
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084934
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって高電圧が印加される前記絞りを支持する装置において、鏡筒外部に設けた手動操作部材により前記絞りの位置調整を行えるようにすること。【解決手段】内筒(6)によりZ軸に垂直なX軸方向に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材着脱部(18f)を有し、内端部に絞り(16)を支持する絞り支持部材(S1)と、外筒(4)を気密に貫通して前記X軸方向に移動可能に支持され、内端部に前記操作部材着脱部(18f)に着脱可能な内端着脱部(31)を有し、外端部に作業者が操作する外部操作部(30)を有する操作部材(28)とを備えた絞り支持装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えた絞り支持装置(A01)上下方向に延びるZ軸線に沿った電子ビームの通路が内部に形成された内筒および前記内筒の外側に配置された外筒を有し、前記内筒および外筒間に絶縁ガス収容空間が形成された鏡筒、(A02)前記内筒により前記Z軸に垂直なX軸方向に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材着脱部を有する絞り支持部材、(A03)前記絞り支持部材の内端部に支持され且つ異なる形状のビーム通過孔が形成された絞り、(A04)前記絞り支持部材または絞りの表面と内筒との間に設けられ、前記内筒の内側の空間を外側の前記絶縁ガス収容空間に対して気密に遮断する気密保持部材、(A05)前記外筒を気密に貫通して前記X軸方向に移動可能に支持され、内端部に前記操作部材着脱部に着脱可能な内端着脱部を有し、外端部に作業者が操作する外部操作部を有する操作部材。

Fターム (1件)：

5C033BB01

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