特許
J-GLOBAL ID:200903014712394630
座標軸直角度誤差の校正方法及び三次元形状測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小島 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-246604
公開番号(公開出願番号):特開2000-074662
出願日: 1998年09月01日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】簡単な作業で、熟練した作業者を必要としないで補正パラメータを自動的に推定して、短い演算処理時間で3軸の座標軸の直角度誤差を補正する。【解決手段】座標変換行列推定部13は理想球面を座標変換して得られる楕円面と基準球面の実測データとの差を最小化するように座標変換行列を推定する。直角度誤差補正部14は推定した座標変換行列のパラメータを利用して被測定物の点列データに座標変換を施して測定座標軸間の直角度誤差補正を自動的に行い、レンズ等の光学素子や非球面の形状測定を作業者によるばらつきがなく、かつ、手間のかかる煩雑な校正作業を行うことなしで精度良く測定する。
請求項(抜粋):
被測定物表面をならい走査し、走査経路の座標を3次元直交座標点列データとして測定し、測定した点列データに座標変換を施して測定座標軸間の直角度誤差に起因する測定データの歪みを補正する座標軸直角度誤差の校正方法であって、基準球面の形状を実測し、理想球面を座標変換して得られる楕円面と基準球面の実測データとの差を最小化するように座標変換行列を推定し、推定した座標変換行列のパラメータを利用して被測定物の点列データに座標変換を施して測定座標軸間の直角度誤差補正を行うことを特徴とする座標軸直角度誤差の校正方法。
Fターム (24件):
2F069AA04
, 2F069AA06
, 2F069AA66
, 2F069BB40
, 2F069CC10
, 2F069EE00
, 2F069FF07
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG52
, 2F069GG62
, 2F069GG71
, 2F069HH01
, 2F069HH09
, 2F069HH30
, 2F069JJ05
, 2F069JJ25
, 2F069MM23
, 2F069MM26
, 2F069NN00
, 2F069NN15
, 2F069PP02
, 2F069RR01
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開平4-248409
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形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-129388
出願人:株式会社リコー
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特開昭53-001552
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特開平4-203917
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審査官引用 (3件)
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特開平4-248409
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形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-129388
出願人:株式会社リコー
-
特開昭53-001552
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