特許
J-GLOBAL ID：200903014715566857
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126309
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074692
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 感光基板の露光領域の全体に亘って良好な投影像を得ることのできる走査型の露光装置。【解決手段】 第1基準面51aに対する第1基板101および第2基準面51bに対する第2基板102の走査直交方向に沿った変位量を計測するための第1測定手段MYおよび第2測定手段PYと、第1基準面と第1基板との間の走査直交方向に沿った距離と第2基準面と第2基板との間の走査直交方向に沿った距離との差を走査方向に沿って計測するための第3相対計測手段Cとをさらに備えている。そして、第1測定手段の出力と第2測定手段の出力と第3相対計測手段の出力とに基づいて、第1基準面と第2基準面との間の走査直交方向に沿った距離の走査方向に沿った変動の影響を補正する。
請求項（抜粋）：
パターンが形成された第1基板を照明するための照明光学系と、前記第1基板に形成されたパターンの正立等倍率像を第2基板上に形成するための投影光学系とを備え、前記投影光学系に対して前記第1基板と前記第2基板とを所定の走査方向に沿って一体的に移動させて前記第1基板のパターンを前記第2基板に転写露光する露光装置において、前記第1基板と前記第2基板との間の前記走査方向に沿った相対変位量を計測するための第1相対計測手段と、前記第1基板のパターン面において前記走査方向と直交する走査直交方向に沿って前記第1相対計測手段と所定の間隔を隔てた位置を計測するように配置され、前記第1基板と前記第2基板との間の前記走査方向に沿った相対変位量を計測するための第2相対計測手段と、前記走査方向とほぼ平行に延びた第1基準面に対する前記第1基板の前記走査直交方向に沿った変位量を計測するための第1測定手段と、前記走査方向とほぼ平行に延びた第2基準面に対する前記第2基板の前記走査直交方向に沿った変位量を計測するための第2測定手段と、前記第1基準面と前記第1基板との間の前記走査直交方向に沿った距離と前記第2基準面と前記第2基板との間の前記走査直交方向に沿った距離との差を前記走査方向に沿って計測するための第3相対計測手段と、前記第1測定手段の出力と前記第2測定手段の出力と前記第3相対計測手段の出力とに基づいて、前記第1基準面と前記第2基準面との間の前記走査直交方向に沿った距離の前記走査方向に沿った変動の影響を補正する補正量を算出するための補正手段と、前記第1基板と前記第2基板とのうちの少なくとも一方の位置を調整する調整手段と、前記第1相対計測手段、前記第2相対計測手段、前記第1測定手段、前記第2測定手段、および前記補正手段の各出力に基づいて、調整量を算出するための演算手段と、前記演算手段の出力に基づいて、前記調整手段を制御するための制御手段とを備えていることを特徴とする露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01B 9/02
, G01B 11/00
, G02F 1/13 101
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G02F 1/13 101
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 B
